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PVD工藝

  真空鍍膜是在真空中將鈦、金、石墨、水晶等金屬或非金屬、氣體等材料利用濺射、蒸發或離子鍍等技術, 在基材上形成薄膜的一種表面處理過程。與傳統化學鍍膜方法相比,真空鍍膜有很多優點:如對環境無污 染,是綠色環保工藝;對操作者無傷害;膜層牢固、致密性好、抗腐蝕性強,膜厚均勻。 
 
  真空鍍膜技術中經常使用的方法主要有:蒸發鍍膜(包括電弧蒸發、電子槍蒸發、電阻絲蒸發等技術)、濺射鍍膜(包 括直流磁控濺射、中頻磁控濺射、射頻濺射等技術),這些方法統稱物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition), 簡稱為PVD。與之對應的化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition)簡稱為CVD技術。行業內通常所說的“IP”(ion plating)離子鍍膜,是因為在PVD技術中各種氣體離子和金屬離子參與成膜過程并起到重要作用,為了強調離子的作 用,而統稱為離子鍍膜。

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