結(jié)構(gòu)要求 1、設(shè)備的結(jié)構(gòu)應(yīng)布局合理,造型美觀,操作方便,便于維修。 2、設(shè)備中靜、動密封的結(jié)構(gòu)形式及尺寸應(yīng)符合GB/T 6070和JB/T 1090~1092的規(guī)定。 3、在低真空和高真空管道及鍍膜室上應(yīng)裝設(shè)真空規(guī)管,分別測量各部位的壓力。 4、如果設(shè)備的真空機組以擴散泵為主泵,應(yīng)在擴散泵的進氣口安裝擋板或冷阱。 5、鍍膜室應(yīng)有觀察窗,對在鍍膜過程中發(fā)生射線的設(shè)備,觀察窗上應(yīng)加裝防射






